檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and cdept.raw="化學工程系"
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厚膜光阻 (Thick-film photoresist)可用於製作高深寬比的結構,普遍廣泛應用於LIGA微機械加工技術,製作MEMS微電機系統元件或微結構等。負型厚膜光阻可應用於積體電路後段IC封…
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本研究目的為藉著製備多維度結構基板,以應用於表面增幅拉曼光譜分析上。不同以往,早期表面增幅拉曼基板大多是將金屬奈米粒子製備於平面基板上,但本研究以傾斜-撈取法技術可簡易製備出規則排列的聚苯乙烯奈米球…